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真空鍍膜機英??的ず駜x檢測維修

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IC6 薄膜沉積控制器
IC6-210100IC6-210200
功能豐富的 IC6 提供提供zui佳測量精度
IC6 薄膜沉積控制器在 INFICON 薄膜沉積控制器可靠成熟的性能基礎上,增添了更多獨特的功能,可幫助您實(shí)現沉積過(guò)程的大價(jià)值。IC6 使用我們的 ModeLock 頻率測量系統,提供穩定、高分辨
率的速率和厚度測量,速率分辨率可達每 1/10 秒 0.00433 ?/s,是行業(yè)中的佼佼者。IC6 具有其他石英晶體控制器無(wú)法比擬的性能、品質(zhì)和功能,賦予您的過(guò)程的可重復性。
功能
INFICON ModeLock 技術(shù)確保獲得高、穩定的速率和厚度測量分辨率,即使在速率低的情況下
Auto Z 技術(shù)通過(guò)自動(dòng)測定沉積材料的 Z 比值,可提高厚度測量的精度
支持zui多六個(gè)來(lái)源同時(shí)共鍍膜
彩色 TFT LCD 顯示屏使用戶(hù)很容易看到過(guò)程的進(jìn)展狀況
100ms 樣本速率下頻率范圍為 +/-0.0035 Hz
USB 數據存儲功能可存儲屏幕截圖、配方存儲和數據記錄
強大的 I/O 憑借其靈活性可融入簡(jiǎn)單或復雜的系統(使用可擴展輸入 (28) 和輸出 (24 繼電器,
14 TTL 輸出),并充分利用邏輯功能(100 個(gè)邏輯語(yǔ)句)
6 個(gè)標準 DAC 輸出和另外 6 個(gè)可選輸出用于來(lái)源控制、速率或厚度監控
可容納多 50 個(gè)過(guò)程,每個(gè)過(guò)程 200 層,這些過(guò)程關(guān)聯(lián)到一起,總共可容納 10,000 層。
多路傳感器可平均分配為 8 個(gè)傳感器
4 米 XIU 選件能夠在大型系統中使用較長(cháng)的真空傳感器電纜
可選以太網(wǎng)通信
符合 RoHS 標準
典型應用
高端光學(xué)鍍膜
SQC-310 薄膜沉積控制器
SQC-310 SQC-310C
常用貨號:SQC310-2-R-2,SQC310-4-R-2,SQC310C-4-R-2
XTC3/3M XC3S-2000
XTC/3S XC3M-2000
Cygnus 2 薄膜沉積控制器
Cygnus 2 貨號CYG2-210100
進(jìn)口真空設備供應商
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